硬X射线自由电子激光装置-真空阀门

真空阀门。数量：1批。 技术参数：全金属角阀：金属密封形式、耐高温烘烤200℃、密封漏率<1×10-10 mbar﹒l/s，寿命5000次以上；快阀及控制器：关闭时间<10ms,寿命1000次以上；全金属门阀：金属密封形式、耐高温烘烤200℃、密封漏率<1×10-10 mbar﹒l/s，寿命10000次以上；橡胶门阀：Viton密封、耐烘烤200℃、密封漏率<1×10-9mbar﹒l/s，寿命30000次以上；电控微调阀：最小可调节漏率1×10-10 mbar﹒l/s，位置分辨率10万步；电控蝶阀：可调流导0.6L/s~60L/s；气动橡胶角阀：漏率<1×10-9mbar﹒l/s，寿命100万次以上。 目标：发挥超高真空密封、隔断、气流控制、联锁保护等功能。 供货周期为合同签订后8个月内，质保1年。