小型磁控溅射镀膜机项目采购信息公开（科研仪器设备类）

一、采购单位：****点击查看

二、项目名称：小型磁控溅射镀膜机

三、公开信息：

1.设备名称：小型磁控溅射镀膜机

2.数量：1

3.关键技术指标：1.真空镀膜室：304 不锈钢材料，圆柱式，门上配有观察窗；镀膜室内净尺寸约为：300* 300 H300mm（以最终设计为准）； 2.真空极限：优于 8*10 - 5 Pa； 3.旋转加热基片台：承载最大直径 75 mm 基片；基片台磁流体密封，电机驱动基片台旋转， 旋转速度 0-20 转/分钟可调；配挡板。样品台加热温度室温~350°；

4.预算金额：168,000.00元

5.拟成交供应商：****点击查看

6.拟成交价格：168,000.00元

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2024年11月21日