取向纳米材料沉积系统

A****点击查看0500 **、耐火制品及其他非金属矿物制品设备

面向柔性电子、纤维半导体器件研究需求，在真空环境下实现异形基底上取向纳米有机薄膜的可控制备，配套完成器件多工况动态电学性能测试，支撑取向纳米材料构效关系解析与高性能柔性电子器件开发，本单位有意向采购取向纳米材料沉积系统一套。具体要求如下：蒸发沉积单元适配 C、N、D、F 等多种原料，可在平面、曲面及纤维等高曲率基底实现保形成膜。系统支持蒸发室、裂解室、沉积腔参数独立可调，蒸发温度可达180℃、裂解温度可达720℃、沉积压力本底～100mT，调节精度± 1℃/1mT。腔体采用不锈钢材质，配备同步加热结构保证温场均匀；裂解室采用耐高温不锈钢裂解管与双包裹式加热设计；沉积腔为搭载旋转料盘与气流导流装置，兼容 8 寸硅片与异形样品。真空系统配置机械旋片泵与独立机械制冷冷阱，冷阱最低温度≤-90℃，沉积腔空载真空度优于 0.5Pa，抽至 10mT 耗时≤30min。多通道电学测试单元用于取向纳米器件与纤维半导体器件的电学信号采集、放大与记录，支持多通道同步动态测试。记录主机物理端口≥4 个，最大可拓展至 32 通道同步采集，覆盖 5V~20V 输出规格。测试夹具及辅助零件制造单元用于定制化制备纤维器件测试夹具、异形基底与实验工装，适配不同尺寸、形态的纤维样品固定与电学连接需求。