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一、采购项目信息
1.项目名称：惯性传感器材料放气超高真空系统
2.预算金额：475000元
二、供应商资格条件
1.符合《****点击查看政府采购法》第二十二条的规定
2.需具备其他资质：详见采购文件
三、采购内容
| 序号 | 名称 | 数量 | 品牌 | 规格型号 | 技术参数 | 售后服务 |
| 1 | 惯性传感器材料放气超高真空系统 | 1 | 1.*真空腔室采用真空专用316L不锈钢腔室，连接处全部使用金属密封，真空室内外表面半导体级精抛光处理，系统分为样品腔，测试腔两部分，两个腔体通过超高真空闸板阀相连接（提供设备出厂前腔体析出杂质气体分析报告需满足超高真空洁净环境要求）。 2.#样品室与测试室各配备无油高真空泵组一套； 3.阀门：金属密封超高真空插板阀，超高真空气动角阀； 4.#采用进口冷阴极全量程真空计与热阴极全量程真空计检测各腔室真空度。真空计测量真空范围为大气压至1×10-7Pa，并提供计量部门报告。 5.*真空腔体极限达到2×10-7Pa（腔室外壁及管道配加热带烘烤连续抽气），关机12小时后，真空度≤3Pa。 6.漏率优于5×10-8Pa.L/S，从大气压抽至9×10-5Pa时间小于90分钟（空载），短时间暴露干燥氮气环境； 7.样品室为金属密封石英样品管，样品管道可加热，加热极限温度室温至800度可调控，采用外加热方式确保不引入杂质。 8.*采用PLC+电脑自动控制系统控制方式（包含：真空控制及互锁系统，**化人机界面，测试数据可自动储存调用，方便数据比对分析）； 9.可远程查看系统真空曲线及相关历史记录； 10.报警及保护：缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。对泵断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统； | 货到安装，基本培训和后期技术支持，12个月内免费保修。 |
四、采购文件获取
与项目联系人约定。
五、响应文件递交
按采购人规定的方式和时间递交。
六、项目联系人
联系人：范继
电话：156****点击查看2890（吴志平）
邮箱：****点击查看@qq.com
****点击查看学院
2025年02月07日
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