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历史招中标信息98209条
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| 微纳平台12寸电子束蒸发台采购 | |
| 项目所在采购意向： | |
| 采购单位： | ****点击查看 |
| 采购项目名称： | 微纳平台12寸电子束蒸发台采购 |
| 预算金额： | 160.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A020699其他电气设备 |
| 采购需求概况 ： | ****点击查看中心采购电子束蒸发1套，主要技术要求如下：工艺腔室的真空获得采用冷泵和干泵的方式，腔体极限真空≤ 9×10-8Torr (8个小时)；腔体直径≥ 1300 mm，腔体高度≥ 1100 mm；工件盘可以承载Φ150 ~ Φ300基片；配置至少两套石英晶振膜厚监控系统。 |
| 预计采购时间： | 2026-10 |
| 备注： | |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
基本情况
上次中标企业: 河南****公司
潜在竞争对手: 共
23
个, 其中与甲方合作关系紧密的
0 家
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