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喷胶机 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | 喷胶机 |
预算金额: | 330.000000万元(人民币) |
采购品目: | A032103电子工业专用生产设备 |
采购需求概况 : | 采购数量:1台,现场调试时间不小于一周,验收完成以后保修期3年。 1、基片尺寸:ψ50mm~ψ200mm 2、Cassette 晶舟:2-4个晶舟 3、Coater Unit 涂胶单元 (1)PR类型:正胶/ 负胶 ;(2)光刻胶喷头 2 ~ 4 个; (3)EBR ( Edge Bead Remover );(4)马达旋转速度 Max. 6,000rpm; (5)高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下) 4、Robot Arm 机械手臂:3轴; X1, X2, X3 5、Hot Plate热盘单元:溫度50℃-180℃ 6、Cooling Plate冷盘单元:溫度18-28℃ 7、涂布机台尺寸:D1400× W1500 × H2300 (mm) |
预计采购时间: | 2025-07 |
备注: |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。