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原子层刻蚀系统

原子层刻蚀系统

预告-招标预告湖北 - 武汉

发布于 2025-07-04

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华中科技大学

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****点击查看2025年8月政府采购意向-原子层刻蚀系统详细情况

原子层刻蚀系统
项目所在采购意向：
采购单位：	****点击查看
采购项目名称：	原子层刻蚀系统
预算金额：	550.000000万元(人民币)
采购品目：	A****点击查看0503工艺试验机
采购需求概况：	#34;拟购原子层刻蚀系统1套。主要技术指标： 1、8英寸向下兼容； 2、射频：频率13.56MHz，上射频额定功率≥1500W，下射频额定功率≤300W； 3、配备ALE快速切换阀，响应时间 lt;30ms； 4、气路总数可达8路，每路入口配有截止阀； 5、质保：自验收合格之日起两年； 6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。 #34;
预计采购时间：	2025-08
备注：

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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