硬X射线自由电子激光装置-溅射离子泵

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发布于 2025-06-05

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上海科技大学

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硬X射线自由电子激光装置-溅射离子泵
项目所在采购意向：
采购单位：	****点击查看
采购项目名称：	硬X射线自由电子激光装置-溅射离子泵
预算金额：	270.000000万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况：	溅射离子泵数量：一批技术参数：抽气速度（N2）：二极离子泵：20L/s至500L/s，极限压力：≤1×10-8 Pa，最大启动压力：≥1×10-3 Pa，最高烘烤温度：≥250℃。三极离子泵：75L/s至150L/s，极限压力：≤1×10-8 Pa，最大启动压力：≥1×10-3 Pa 目标：溅射离子泵与光束线真空腔体直接连接，为光束线设备提供超高真空工作环境。供货周期为合同签订后4个月内，质保1年。
预计采购时间：	2025-08
备注：