高真空镀膜系统竞争性磋商公告

一、项目名称：高真空镀膜系统

二、项目编号：****点击查看

三、采购人：****点击查看

地址：**省**市东环路50号**楼0904室

邮编：215021 传真：0512-****点击查看5076

联系人：丁老师 电话：0512-****点击查看4198，****点击查看4359

电子邮箱：dingy@suda.****点击查看.cn

技术联系人：吴老师 电话：173****点击查看7241

电子邮箱：****点击查看@163.com

四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求

高真空镀膜系统 1套

（一）主要技术性能指标及配置要求

1.蒸镀仪

1.1底盘结构

1.1.1 采用型材搭建或焊接式框架，外观要求氧化处理或喷漆，防止生锈，配可以打开的磁吸柜门；

1.1.2 底部带有轮子，可推动，并带有可调节高度的支脚；

1.1.3 带有机械旋转手臂，有多角度调节操作界面；

1.1.4 电气控制集成到底盘上，与真空腔体一体式。

1.2 基片架结构

1.2.1 样品架采用嵌入式结构，可搭载25片15mm*15mm基片，掩模版到基片距离小于0.1mm。

1.2.2 电机驱动实现连续旋转，最大转速可达30转/分钟，通过磁流体与基片托盘连接；

1.2.3配有二个挡板，气缸驱动，二个挡板组合使用，可遮挡范围150mm×150mm；

1.2.4腔体门板上安装有长条形观察窗，并附带挡板，通过磁流体打开与关闭。

1.3蒸发源

1.3.1 三组舟源，可对金属，有机，无机物等材料进行蒸镀，每组蒸发源均配备冷却系统，源与基片的垂直距离约为350mm；三组蒸发源按照R-D-matin-ME系列舟蒸发源设计；源和源之间有隔板，防止交叉污染及隔绝一定温度辐射。每个蒸发源电极均采用水冷式结构，以便可以长时间蒸镀

1.3.2配备1组低温束源，坩埚容量5cc，可对有机材料进行蒸镀，源与基片的垂直距离约为350mm；源和源之间有隔板，防止交叉污染及隔绝一定温度辐射；

1.3.3 每组蒸发源的上方同时配有防护板防止蒸发源的交叉污染，防护板通过气缸驱动，打开方式：左右旋转；

1.3.4 源与源之间装有隔板，避免源与源之间材料相互污染；

1.3.5蒸发电源2台，1台可编程直流电源（TDKGEN8-180 1.5KW，升温温度1500℃，精度0.1A），通过继电器切换，电源设定为恒流模式，调节电流的大小来对蒸发源上的负载进行加热，从而使得负载上的材料达到一定温度后发生蒸发现象；

1台可编程直流电源（TDKZ+ 20-10 200W，升温温度600℃，精度0.1A），电源设定为恒流模式，调节电流的大小来对蒸发源上的负载进行加热，从而使得负载上的材料达到一定温度后发生蒸发现象。配合膜厚仪，能够实现自动蒸镀。

1.4自动化控制软件

1.4.1采用工控机控制模式，相关的操作均在工控机界面完成，显示器通过机械手臂固定在设备框架，带有一键自动蒸镀功能。

1.5膜厚控制系统

1.5.1标准晶振传感器2个，均为水冷式，位于基片盘两侧；

1.5.2 晶振探头、膜厚仪与蒸发电源之间可实现闭环控制，用于控制电源功能及速率稳定性；

1.5.3 膜厚速率显示精度：±0.01A/S；

1.5.4 蒸镀速率，可蒸有机：以BCP为标准，蒸镀速率速度稳定性≤±10%(0.1-0.5A/s)，≤±5%(0.5-10A/s)，≤±4%(>10A/s)；单片内膜厚匀性≤5%。

1.6真空室

1.6.1 真空室由不锈钢制成，内部尺寸至少为400mm×400mm×560mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置；

1.6.2 真空腔体配备两个可以完全打开的门，前门为移门，可以连接手套箱，后门旋转门，维护检修，并配一个长方形观察窗，观察腔体内部状况；

1.6.3腔体极限真空优于3.5×10-5pa，从常压到5×10-4pa不超过15min（充氮气保护）；

1.6.4气动高真空插板阀，通径大于等于160mm；

1.6.5带有旁抽系统，可以在不关闭分子泵的条件下，可打开腔室进行样品及材料的更换；

1.6.6腔体内表面预留安装金属防污挡板接口，后期可安装金属防污挡板；

1.7真空系统

1.7.1 前级泵的抽速不低于24 m3/h；

1.7.2 主泵采用抽速≥700 l/s的分子泵；

1.7.3 主泵和腔室之间安装有气动插板阀，通径≥160mm；

1.7.4 自动抽气控制，带安全互锁功能；

1.7.5 配有前级管路等相应的硬件；

1.7.6 真空室配真空计，测量范围为大气至10-5pa。

2.手套箱

2.1使用99.999%的惰性气源，空箱运转，箱内水氧含量均小于1PPM。

2.2箱体泄漏率＜0.001%/h（即关闭循环氧含量上升速率＜2ppm/h）。

2.3箱体

2.3.1 四个不锈钢箱体，每个箱体内部尺寸为长度≤1200mm、深度≤750mm、高度≤900mm，其中一个箱体背部对接镀膜机，箱体呈L型布置，箱体材质为SUS304不锈钢，厚度3mm。

2.3.2四个视窗与箱体之间采用专业无泄漏双层密封技术，可有效阻挡空气中的H2O、O2、N2分子扩散入手套箱和有毒分子扩散出手套箱，达到无泄漏效果（提供相关证明文件）

2.3.3八个铝合金手套口

2.3.4手套口与手套和视窗之间的密封使用无泄漏密封抽真空技术。（产品宣传册需有相关证明文件）

2.3.5四副原装进口丁基橡胶手套。制造商拥有手套箱手套在线检漏装置用于箱体及手套检漏。（提供相关技术证明文件）

2.3.6箱体背部预留多个KF40法兰孔

2.3.7四个钢结构支架，高≥900mm，须有安装万向脚轮，具有调平、移动、固定等功能。

2.4过渡舱

2.4.1一个T型大过渡仓，尺寸：直径≥360，长度≥800mm，通过在触摸屏上点触启动按键，过渡舱可自动完成多次抽充程序。

2.4.2 一个T型小过渡仓，法兰连接，尺寸：直径≥150，长度≥800mm，小过渡舱门特别设计，易操作，不易损坏。

2.4.3一个便捷型小过渡仓，为了确保密封性则焊接在箱体四右侧，尺寸：直径≥150，长度≥300mm，小过渡舱门特别设计，易操作，不易损坏。

2.5独立式高效气体纯化系统（数量：两套）

2.5.1氧气的吸附量≥60升；水的吸附量≥2公斤。

2.5.2配有净化材料吸附饱和后可再生装置。

2.5.3有机溶剂吸附柱:含活性炭颗粒吸附材料，放置在箱体内，吸附饱和后可便捷更换材料。

2.6控制系统（数量：两套）

2.6.1 控制系统由PLC和7英寸彩色触摸屏组成，用户**的中英文操作界面。

2.6.2为节省能耗，循环风机功率小于60m3/h，无需增加变频器及冷水机。手套箱具有自动循环与手动循环两种模式，超低能耗，大部分时间能耗小于50W（需提供相关证明文件）

2.7验收技术指标

2.7.1 泄露率﹤0.001%/h(即关闭循环氧含量上升速率2ppm/h，投标时需提供相关技术证明文件，其中泄露率指标需提供国家级非地方性机构出具的测试认证报告，泄露率检测结果同时适用于正压和负压状态下）。

2.7.2 H2O﹤1ppm ，O2﹤1ppm。（PLC显示屏需显示实际水氧含量，显示屏上数值需精确到小数点后两位，而且水含量数值能在PLC显示屏上随时切换成箱体内实测露点值（需提供相关技术证明文件）。此项作为最终验收指标，如若不符用户有权直接退货）

2.8标准配件

2.8.1 真空泵（数量：两台）：采用知名品牌；流量≥12m3/h，极限真空2×10-3毫巴，可对过渡舱抽真空，并保持箱体压力平衡。

2.8.2 氧分析仪（数量：两台）：采用知名品牌传感器，材质为电化学燃料电池，不接受氧化锆材质探头，量程：0 ppm -1000ppm。精度：0.2ppm 或 量程的1%。氧分析仪需要自带数显功能（需有相关技术证明文件）。

2.8.3 水分析仪/露点仪（数量：两台）：采用知名品牌传感器，材质为氧化铝膜探测器，量程：-100℃到20℃（露点）或者 量程：0ppm -23000ppm，精度：2℃。

2.8.4温控系统（数量：一套） ，安装于箱体二顶部，控制箱内温度18-25摄氏度。

2.8.5 箱体二底部设计安装一个石英玻璃，直径100mm。

2.9其他配件

2.9.1 四个国产钢瓶减压阀

2.9.2 四只丁基橡胶手套

2.9.3 三根箱内电源线

2.9.4 两根真空单管双阀

2.9.5 两根5米长的清洗阀外接钢丝软管（直径32mm、16mm）

2.9.6 一套手套箱备用工具、一份电子档说明书

（二）质保期不少于1年（验收合格后起算）。

五、评分标准

本次磋商采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，****点击查看小组根据实际情况进行评判。

（1）所提供产品多项不满足磋商公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，****点击查看小组评审可作为无效响应文件。

（2）所提供产品不满足磋商公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣3分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技****点击查看小组认为超出指标有意义的）（6分）。其中优于项，每处加2分。

（2）所提供产品的市场反馈情况（9分）。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用所提供产品发表的学术论文情况等综合评定。

（二）价格分（35分）

1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分；

2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。

（三）综合商务（15分）

1．综合实力（3分）

根据供应商提供的能体现其综合实力的证明材料进行评定。

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合磋商文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。

根据磋商响应文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3．其它优惠措施等（2分）

根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。

六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、供应商资质要求

（一）具有独立承担民事责任的能力；

（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

（六）本项目不接受联合体报价。

八、磋商响应文件的组成

（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件1），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：

1. 目录（磋商响应资料与页码对照表，原件）。

2. 磋商响应函（原件）。

3. 响应基本情况一览表（原件）。

4. 详细配置清单（原件）。

5. 技术规格偏离表（原件）。

6. ****点击查看公司资质、公司业绩、公司荣誉等，原件）。

7. 资格证明材料

（1）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）。

（2）法定代表人授权书（原件）。

（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。

（4）法人授权代表身份证明材料（如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。

（5）供应商最新的年度审计报告或财务报告（复印件）。

（6）仪器设备生产或经营企业许可证（复印件，特殊行业必须提供）。

（7）仪器设备销售代理授权证明****点击查看制造厂商投标的，须按第2.2条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。

（8****点击查看中心出具的质量体系认证证书（例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。

（9）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。

8. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。

9. 供应商认为应该提供的其他材料。

（二）特别说明

1. “磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章。

2. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；

3. 相关材料及填写规范按照《**大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。

九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《**大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

十、磋商文件价格：人民币500元（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。

十一、供应商在报名前，须认真阅读《**大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2025年9月23日12：00前将报名函（格式见附件）发送邮件至采购人处（dingy@suda.****点击查看.cn）。

十二、递交磋商响应文件相关事宜：

（一）顺丰快递（建议优先采用）

1. 寄达时间：2025年9月26日9：00前；

2. 收件人信息：

收件人：丁老师

联系方式：138****点击查看5427

收件地址：**省**市东环路50号**楼0904室

（二）现场递交

1. 现场递交时间：2025年9月26日8：30～9：00

2. 现场递交地点：**省**市东环路50****点击查看大学东校区东大门

十三、递交磋商文件截止时间：2025年9月26日9：00。

十四、磋商时间：2025年9月26日9：00。

磋商性公告附件.zip