设备转接系统

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设备转接系统是实现工艺设备对接到超高真空管道上的过渡设备，具有真空环境过渡和样品传输等功能，要实现的功能和技术指标如下： 1、极限真空：≤2×10-10 Torr，真空检漏漏率：≤8×10-11 Torr.L/S。 2、实现原设备与超高真空管道真空环境过渡，若设备对接腔体极限真空度≥3.8×10-8 Torr，转接系统必须配置极限真空度≤3.8×10-8 Torr的过渡腔体，并用插板阀隔断超高真空腔体，并保证设备与转接系统交换完样品后，30分钟内过渡室腔体真空度恢复到≤5×10-7 Torr； 3、 实现设备与管道之间样品交换，交接位处样品交接准确、阀门开启灵活； 4、传输样品尺寸：2英寸晶圆或者带有小样品的2英寸圆形过渡托； 5、实现2英寸晶圆样品翻面功能（晶圆样品厚度为0.5mm~2mm），并能实现样品取下和安放到MBE自带圆环样品托上。 6、实现管道与转接系统之间自动化样品交接， 控制系统与管道的控制系统兼容，以及在总控系统、支线控制系统和单元控制系统上，实现三级人机交互界面上显示和操控； 7、配置必要的观察窗、照明和烘烤带； 8、各个标准法兰与现有的真空管道法兰外观一致