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快速GaN刻蚀机

快速GaN刻蚀机

预告-招标预告 江苏 - 苏州
发布于 2025-03-28

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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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****点击查看2025年4至5月政府采购意向-快速GaN刻蚀机 详细情况
快速GaN刻蚀机
项目所在采购意向： ****点击查看2025年4至5月政府采购意向
采购单位： ****点击查看
采购项目名称： 快速GaN刻蚀机
预算金额： 600.000000万元(人民币)
采购品目：
A****点击查看0000-设备_A****点击查看0000-电工、电子生产设备_A****点击查看0300-电子工业生产设备
采购需求概况 ：
快速GaN刻蚀机用于实现4/8英寸GaN材料的快速刻蚀工艺加工，设备具备传片LoadLock+工艺腔模块；全自动卡塞传片模式，采用静电吸盘；刻蚀GaN速率≥300nm/min；8英寸片内刻蚀非均匀性≤±3%。以实际公告为准。
预计采购时间： 2025-04
备注：

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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