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| 热蒸镀仪 | 179888.00 | 1、为提供更好的服务，供应商必须在**设有独立法人的分支机构，需提供原厂针对该项目的售后服务承诺书；2、要求供货商在本地有固定服务点；3、中标商需上门安装、调试并提供为期两天的培训；4、质保期内如需返厂维修，供货商承担来回费用。 | 1、真空腔室：真空专用304不锈钢腔室，300*300*H440mm；前开门结构，配内衬防污板； 2、真空系统：700L/S脂润滑分子泵+6L/S旋片式真空泵组成高真空抽气系统，“一低一高”数显复合真空计；配备气动阀； 3、真空极限：优于5.0×10-5Pa；漏率：优于5×10-8Pa*L/S（国家标准）； 4、抽速：抽气时间：大气压~8*10-4Pa小于20min；（氮气破真空）； 5、基片台：可放下4 inch 向下兼容；旋转：0-30转（连续可调）；水冷；源基距300 - 350mm可调，膜厚均匀性重复性优于+/-5%； 6、蒸发源及电源：独立水冷电极蒸发源2组；2.4KW蒸发电源恒压恒流模式可选，数量：1台；一托二切换蒸发； 7、膜厚监测系统：进口INFICON公司，显示控制精度0.01埃；配备1支进口MCVAC水冷探头； 8、控制方式：西门子PLC+西门子触摸屏手自动控制； 9、报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 10、提供尾气排放装置。 | 1.0台 | 普迪真空 PD-300 | 179888.00 | ****点击查看 |
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