真空热处理设备

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1）总体技术要求(*项为必须满足项) 1.1）热处理方式为电加热真空热处理。 *1.2）热处理炉型为密封单室结构，立式（部分炉底井式）、单室、顶装料。 *1.3）炉膛有效温度均匀区尺寸≥500mm（直径）× 1200mm（高）。 *1.4）炉体最大装载能力为含工装0.5吨。 *1.5）炉体最高加热温度为800℃。 *1.6）炉体升温速率为5-600°C/h可调。 *1.9）保温平台炉温：210℃、400℃、600℃、700℃，保温平台炉温均匀性：≤±3.0℃。 *1.10）控温精度：≤±1.0℃。 *1.11）热态极限真空度 <1×10-3Pa。 *1.12）压升率小于0.067Pa/h，漏率优于3E-3 mbar*l/sec （常温，空载） 1.13）热处理系统连续工作30天，不发生故障。 2）炉内清洁度技术要求 *2.2）炉膛内胆需采用304不锈钢材料，炉膛内的所有部件不得含有润滑油/润滑脂。 *2.3）保温隔热反射屏由5层（钼+不锈钢）金属组成，反射屏由金属层和骨架制成。 *2.4）真空系统要求采用机械泵-罗茨泵-分子泵三级真空系统。机械泵、罗茨泵要求选用英国Edwards或同等或更高规格的产品，分子泵可选用中科科仪或同等或更高规格的产品。所有真空管道及阀门均采用不锈钢材质。 *2.5）配备一个DN500mm的单层耐热钢料盘。 3）其他相关技术要求 *3.3）炉体需要配备不少于9支N型Ⅰ级铠装热电偶。 *3.4）电控系统采用西门子可编程序控制器（PLC）控制。控制系统还需配有HMI人机交互界面，实时显示检测信号、控制信号、运行数据等过程控制信息，并将必要的数据记录在工控机中。设备运行的工艺参数设定可通过人机交互界面进行选择、编辑和保存。可按照编程的工艺实现自动程序运行，并可实现炉子的各种顺序动作。具有各种自动报警功能，如水温、水压报警等，并能实现必要的安全互锁。 *3.6）控制柜配备UPS备用电源，异常停电后能够无缝切换至UPS电源供电，对工控机、仪表及设备控制回路供电（30分钟）； *3.7）控制柜1台高速16通道无纸记录仪，记录炉内温度、真空度及压力的情况，1 台彩色激光打印机，可实时打印数据报表与曲线。打印机装在控制柜内，可在不开控制柜门的 情况下拿取打印报告。 *3.8）温度控制采用欧陆或同等品牌2704型工业PID控制器，精度0.1级。控温精度±1℃；超温报警器选用欧陆或同等品牌3208型号