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溅射表面纳米薄膜系统 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | 溅射表面纳米薄膜系统 |
预算金额: | 180.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****点击查看2402 真空应用设备 |
采购需求概况 : | 1.采购标名称:溅射表面纳米薄膜系统; 2.采购标数量:1套; 3. 溅射表面纳米薄膜系统质量要求:可溅射多主元合金、氧化物、氮化物及碳化物等多种材料,薄膜的厚度均匀性为±2%;可实现二维片层、多层结构、梯度结构、超晶格等纳米尺度结构调控;有多靶协同能力(≥4个靶位),支持共溅射和交替溅射,含有直流、射频、脉冲电源; 4.服务与安全:提供上门安装及培训,质保期一年; 5.合同款执行90%后的一个月内完成设备安装。 |
预计采购时间: | 2025-03 |
备注: | 强基拓新创新平台建设 |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。