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12寸等离子增强气相沉积

12寸等离子增强气相沉积

预告-招标预告 江苏 - 南京
发布于 2024-09-12

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东南大学
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****点击查看2024年9至12月政府采购意向-12寸等离子增强气相沉积 详细情况
12寸等离子增强气相沉积
项目所在采购意向： ****点击查看2024年9至12月政府采购意向
采购单位： ****点击查看
采购项目名称： 12寸等离子增强气相沉积
预算金额： 1650.000000万元(人民币)
采购品目：
A****点击查看9900其他电气设备
采购需求概况 ：
购置1套。具有三个以上12英寸晶圆沉积腔，可实现液体源的导入，可沉积SiO2,Si3N4,SiCN等薄膜，12英寸晶圆片内不均匀度小于5
预计采购时间： 2024-10
备注：

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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