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历史招中标信息12101条
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| 电子束与热蒸发设备维修保养服务 | 项目编号****点击查看 | |
| 2026-10-14 14:58:18 | 公告截止日期2026-10-19 15:00:00 | |
| ****点击查看 | 付款方式内贸部分：货到验收合格后付全款 | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | ||
| ￥100000.00 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 电子束与热蒸发设备（坩埚数：4 / 不限材料）维保 | 1 | 项 |
| ￥ 100000.00 |
| 热阻特氟龙齿轮更换 坩埚回转传动轴轴承（水平）更换 坩埚回转传动轴轴承（垂直）更换 冷泵O型圈（一套共12个）更换 EB shutter升降气缸漏油修复或更换 热阻轨道导轨更换或者维护维修（数量7） 热阻电极更换或者维护维修 热阻钨舟固定块更换或者维护维修 坩埚本体更换或者维护维修 Y轴线圈更换或者维护维修 坩埚定位器更换或者维护维修 冷泵检漏+维护 PC工控机更换或升级 dome更换或者维护维修 维保后抽真空（5e-4）时间小于25分钟，冷泵再生完成温度小于等于10k，坩埚旋转无异常声响，坩埚定位器定位精确，工控机更换后三年内不得出现蓝屏等现象 |
| 质保期:3年; |
基本情况
上次中标企业: 上海****公司
潜在竞争对手: 共
4
个, 其中与甲方合作关系紧密的
0 家
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