电子与信息工程学院(微电子学院)
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申购单主题: | 电热水洗式尾气处理器 | 申购单位: | ****点击查看****点击查看学院) | 报价类型: | 国内含税价 |
使用币种: | 人民币 | 公示时间: | 2025-07-24 09:37:41 | ||
申购备注: | 电热水洗式尾气处理器 欧海 先导线 |
电热水洗式尾气处理器 | GenTech | GTTWS600 SERIES | 1 |
规格 |
1.处理易燃、有毒气体,如:SiH4、WF6等,处理容量不小于600slpm 2.具备SEMI S2认证 3.配置循环水泵,减少市政水消耗 4.采用筒式加热棒,高加热棒效率及均匀热分布,设备内部防腐设计; 5.操作权限分级管理,报警可连锁关断,历史报警记录触发和恢复时间; 6.实时监测水箱液位异常、水箱泄露及加热棒组、排风口温度异常、循环泵、压缩空气和进水压力异常等报警。 |