| 规格 | 流量性能 - 量程：**0～30 SLM（Air）** - 可控区间：**2%～99% FS** - 精度：**±1.0% FS** - 线性：**±0.5% FS** - 重复性：**±0.2% FS** - 响应：T98 ≤1.5 s（典型 1 s） 压力参数（30SLM 档） - 推荐工作压差：**100～300 kPa（d）** - 最高工作压力：**300 kPa（G）** - 爆破耐压：**3 MPa（G）** - 氦检漏率：**≤1×10 Pa﹒m3/s** 气路与材质 - 接气材质：**SUS316L**；密封件：氟橡胶 - 接头：**φ8 mm 双卡套（公制卡套）** - 阀结构：常闭电磁阀、内置 PID 控制 - 安装：任意角度安装 电气信号（标准模拟款） - 设定信号：**0.1～5 VDC（对应 2%～99% FS）** - 流量反馈输出：**0～5 VDC（0～99%FS）** - 供电：**+15V±5%（≤100mA）、15V±5%（≤150mA）** - 电气接口：**D-Sub 15pin** - 输入阻抗 ≥1 MΩ；输出驱动 ≤3 mA 环境条件 - 工作温度：5～45 ℃；**精度保证区间 15～35 ℃** - 附加功能：Auto-zero 自动调零、Auto-close 断电关阀 |
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