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****点击查看学院12寸等离子增强气相沉积采购招标项目的潜在投标人应在e交易平台（https://www.****点击查看.com）获取招标文件，并于2024年12月24日10点00分（**时间）前递交投标文件。一、项目基本情况1.1项目编号：****点击查看项目名称：****点击查看****点击查看学院12寸等离子增强气相沉积采购1.3预算金额：1650万元 1.4最高限价：1650万元 1.5采购需求：项目地点：****点击查看**校区项目概况：****点击查看学院采购12寸等离子增强气相沉积1套，主要技术要求如下:1.设备功能：实现直径12寸及以下尺寸晶圆表面的薄膜沉积，包括SiOx、SiCN、SiCOH等类型薄膜的沉积。2.含有设备前端模块（EFEM)一套，其内部配备有全自动机械手用于取放晶圆，外围有高效过滤器（FFU)控制空气洁净度，有3个晶圆盒承载台和6个冷却平台。3.含有工艺腔体（PM）不少于3个，各自含有1套独立完整的射频电源、进出气系统、真空控制系统和真空泵系统，均可独立加工直径为12寸及以下尺寸的晶圆。4. 三个PM可分别实现化学组分为SiCOH、SiCN、SiO的薄膜沉积。每个PM各自配备一个专用的液态前驱体输送系统。5. 12寸晶圆内完成SiCOH薄膜沉积后，晶圆表面全部面积范围内直径为0.09 μm以上的颗粒数量不超过20个。6. 在12寸晶圆上沉积SiO薄膜，最大厚度可超过50 μm，薄膜完整无缺陷，无开裂、脱层等缺陷。本项目不接受进口产品投标，技术参数详见招标文件。1.6合同履行期限：合同签订后8个月内设备安装调试合格。1.7行业划分：工业
21.8本项目(非专门)面向中小企业采购。1.9本项****点击查看监狱企业采购。1.10本项目(非专门)面向残疾人福利性单位采购。1.11本项目不接受联合体投标。二、申请人的资格要求2.1满足《****点击查看政府 采购 法》第 二十二条规定；（1）具有独立承担民事责任 的能 力（提供法 人或者 其他组织的营业执照；供应商为自然人的，提供其身份证）；（2）具有良好 的商业信誉 和健全的 财务会计制度（ 提供2023年度的 财务报告，或投标截****点击查看银行出具的资信证明）；（3）具有履行合同所必 需的设备和专业技术能力（供应商根据 履行采购项目合同需要，提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）；（4）有 依法缴纳税收和社会保障资金的 良好记录（提供 参加本 次政府 采购 活动前 半年内 至少一个月：提供缴纳税收的凭证；提供缴纳社会保险的凭据 ）， 依法享 受免缴 、缓缴的，提供证明材料；（5****点击查看政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供承诺书）；（6）法律、行政法规规定的其他条件：无2.2落实政府 采购 政策 需满足的资格要求：无2.3采购人根据采购项目的特殊要求规定的特定条件，并提供符合特殊要求的证明材料或者情况说明：无。2.4第2.1（5）条所 称重大违法记录，是指供 应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。2.5 供应商在参加 政府采购活动前3年内 因违法经营被禁止在一 ****点击查看政府 采购活动，期限届满的，****点击查看政府采购活动。2.6单位 负责 人为同一人或者存 在直接控股、管理关 系的不同供应商，不 得参****点击查看政府采购活动。为采购项目提供 整体设 计、规范编制 或者 项目 管理 、监 理、检测 等服务 的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。2.7拒绝列入失信被执行人、 重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录 名单及其 他不符合《****点击查看政府 采购 法》第 二十二条规定条件的 ****点击查看政府 采购 活动。采购人或者 采购 代理 机构在进行资格审查 的同时，依法通 过“中国 政府采购网”、“信用中国”网站等渠道查询投标人信用记录并保存。三、获取招标文件
33. 1时间：2024年12月3日至2024年12月10日17:3 0。（**时间，法定节假日除外）3.2地点： 登录e交易平台（以下简称平台）网址 为：https://www.ejy365 .com3.3方式 ：（1）凡有意参加投标者，请于获取时间内登录e交易平台按照 要求进行实名会员注册 、 完 善 相 关 信 息及 选 择 项 目 报 名 、 下 载 招 标 文 件 ， 平 台网 址 为 ：http://www.ejy365 .com。下载 者首次登录平**，须前往平台 免费注册，注册 成功 且完善相关信息 后，可以及时参与平台上 所有发布 的项目。（2）下载 者应充分考虑 平台 注册 、信息检查、资 料上传、购标 确认 、费用支付所需时间，下载者必须 在获取时间内完成支付 ，否则将 无法保证 获取招标文件。未按照 本公告 要求获 得本项目招标文件的，招标代理 机构不予接收其投标文件。（3）下载 者需要 发票 的， 须通 过平台 “资金 管理” 模块进行操作 。招标文件服务费发票由招标 代理 机构开具； 下载 者选择 开具增值税普通发票的，可在”资金 管理--标书费 电子 发票” 下载增 值税 电子 普通发票；选择开具增值税 专用 发票 的，可在”资金 管理--专用 发票 申请 ”中填写 相关信息；平台 服务费发票由**易交易 信息科 技有限 公司开具。非 因招标 代理 机构或 平台 原因 ，发票 一经开具不予退换 。（4）平台 网站首页“帮助中心”提供操作手册，下载 者可以下载并根据操作手册提示 进行 注册 、登录 等操作 。易交易平台技术支持 联系 方式供应商技术 支持热线：400 -828- 0799（工 作时间：9: 00 -11 :3 0,13:3 0-19: 00）供应商项目参 与操作说明：https://www.ejy365 .com/upload/link/2022/ 08/3 0/48e 1dd 12- 5050 -4bbf-bfc9-a0d7a 037ba 1c.pdf 技术 支持服务态度不满意投诉热线 ：400 -828- 0799转0。（5）联合体投标（如允许 ）的，联合体各方应当指定牵头人，并 授权 其以自 身名义在平台 办理注册、下载文件、缴纳保证金等手 续，其在平台的办理 行为， 对联合体各方均具有约束力 。3.4招标文件服务费 每套400元， 售后不 退。四、提交投标文件截止 时间、开标时间和地点4.1 2024年12月24日10点00分（**时间）4.2提交投标文件地点及开标地点：**市** 区清江 南路18****点击查看广场D栋11楼开标1室
4投标人因故未出席开标会的，视同同意本项目开标结果。4.3投标人应提供投标文件一式柒份（正本壹份、副本陆份），所有投标文件均应密封后递交，同时应提供 电子 版投标文件壹份（电子 版须为投标文件正本加 盖公章、签 字后形成PDF扫描 件， 扫描 件内 容应与纸质投标文件正本完全一致、U盘形 式（单独 封装）、 随纸质正 本文件一并提交）。当电子 版文件和 纸质正 本文件不一致时，以 纸质正 本文件为准电子版文件用于辅助评标**台存档，投标人需承担前述不一致造成的不利后果。五、公告 期限自本 公告发布之日起5个工 作日。六、其 他补充事 宜6.1****点击查看政府采购网网站发布公告。6.2投标人应当从采购 代理 机构合法获得招标项目的招标文件。本次招标请 按“标段”获取招标文件，编制、提交投标文件，并按“标段”开标、评标。6.3 勘察现场：无6.4投标人前来投标的 授权代 表，必须为本单位员工，需 提供投标人为其缴纳 的截止至投标截止时间前3个月的社保缴纳证明材料。七、对本次招标 提出询问，请 按以下 方式 联系7.1采购人 信息名 称：****点击查看地址：** 市四 牌楼2号 联系 方式 ：****点击查看学院：李老师 0510 -8 51156 26；实验室与 设备 管理处 ：刘老师 025-83792 693。7.2采购 代理 机构信息名 称：****点击查看地址：** 市** 区清江 南路18****点击查看广场D栋9楼908室联系 方式 ：黄旭025-8 66 36850、186061 953597.3项目联系方式项目联系人：黄旭 电 话 ：025-8 66 36850、186061 95359采购 代理 机构：** 省设备成套股份 有限 公司2024年12月3日
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