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原子层刻蚀（ALE）设备

原子层刻蚀（ALE）设备

预告-招标预告 江苏 - 南京 - 栖霞区
发布于 2025-04-08

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南京大学
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****点击查看2025年4至5月政府采购意向-原子层刻蚀（ALE）设备 详细情况
原子层刻蚀（ALE）设备
项目所在采购意向： ****点击查看2025年4至5月政府采购意向
采购单位： ****点击查看
采购项目名称： 原子层刻蚀（ALE）设备
预算金额： 860.000000万元(人民币)
采购品目：
A****点击查看0204 半导体器件参数测量仪
采购需求概况 ：
****点击查看拟采购原子层刻蚀设备系统一套，主要采购需求如下：1.腔室：不锈钢/铝材制成；2.真空双腔结构；3.最大可放置直径8英寸晶圆；4.ICP电源+反应区温控系统；5.标配6路液/固体反应物源路+4路气体反应物工艺气路，反应气体可根据材料选配；6.每路液/固体反应物源路配置进口阀、手动阀、温控器，源路配置加热套和吹扫流量计，每路气体反应物配置进口气动阀门及流量计，腐蚀性气路配置防腐流量计；7.等离子体源功率和电压连续可调；8.质保期：1年。
预计采购时间： 2025-05
备注：

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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