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| 热蒸发镀膜机 | 项目编号****点击查看 | |
| 2025-09-17 17:31:18 | 公告截止日期2025-09-20 18:00:00 | |
| ****点击查看 | 付款方式合同签订后70%，验收合格后30% | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 签订合同后30个工作日内 | |
| ￥ 390000.00 | ||
| **市****点击查看 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 热蒸发镀膜机 | 1 | 台 |
| ￥ 390000.00 |
| 1. ★真空腔室：真空专用 304 不锈钢腔室镜面抛光处理（提供高真空腔体杂质气体析出分析检测报告）；一体化设计占用手套箱尺寸宽度小于600MM（提供图片佐证） 2. 真空极限：极限真空≤3×10- 5Pa；漏率≤ 1×10－8Pa*L/S（国家标准）；保压测试关机 12 小时后，真空度≤5Pa； 3. 抽速：抽气时间大气压~5*10 4Pa ＜20min； 4. 基片台：抽屉式结构，承载≤ 140*140mm 样品，配气动挡板（供货时提供有机真空镀膜掩膜装置专利文件等相关文件） 5. 成膜质量：膜厚不均匀性≤5%，膜厚重复性≤5%。 6. ★金属蒸发源及电源：配 2 组金属蒸发源，配备 4 组有机束源炉，蒸发电源5套。可实现多源共蒸。 7. ★低温冷阱1套； 8. ★配有1台进口INFICON SQC-310C膜厚仪；配备3路水冷MCVAC晶振探头； 9. 控制方式：西门子 PLC+西门子触摸屏手自动控制；可输入速率及终厚，PID调节自动控制蒸发；电源输出。 10. 细节设计：抽气口加装过滤装置，气路设计避免扬尘； 11. ★三工位手套箱箱体，泄漏率≤0.001vol%/h，304不锈钢材质，箱体内有多层搁物架，可调节高度；箱体底部配有支架，旋转脚轮，可微调水平，配有用于压力调节的脚踏板，箱体配有大过渡舱和小过渡舱。 12. ★气体净化柱：净化材料可再生，且再生过程自动控制、自动除水除氧功能，H2O﹤1ppm，O2﹤1ppm。气体控制阀：不锈钢电磁集成阀座，循环能力：集成风机流量≥90m3/h，加装变频控制。 13. ★水分析仪：采用美国VTI品牌，型号为MK-XTR-100，测量范围为0～500ppm,采用P2O5传感器，应用范围广，尤其对于锂电制造及金属有机等用户，可以进行清洗并重复使用，避免了一次污染即报废的问题。★氧分析仪：采用美国VTI品牌，型号为MK-OX-SEN1，测量范围：0～1000ppm，采用二氧化锆传感器，避免了燃料电池（电化学电池）寿命短，不能暴露在高氧中的问题，后续维护成本低，要求水氧分析仪生产厂家提供该功能的证明文件。 14. 前窗采用倾斜的视窗，透明钢化安全玻璃，厚度8mm，玻璃视窗采用实芯O型密封圈，米开独有的（真空密封方式）法兰视窗结构，达到无泄漏。不接受单层或双层密封圈的密封方式。需要提供证明官网，样册证明，包括实物照片、结构图加以佐证。 15. 进口品牌真空泵，可手动或通过PLC启动，流量12m3/h，可对过渡舱抽真空，并保持箱体压力平衡，真空泵真空度可达2×10-1p。 16. .提供制造商售后服务承诺书，质保期：12个月，质保期内可提供原厂备件，拒绝返修，配件只换不修； 17. .确保提供的货物是已定型上市销售的全新、原产地、原包装、手续合法完整、渠道正规的产品，完全符合国家其他相关标准、投标文件的性能指标及功能要求。 |
| 12个月 |
