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| 匀胶机 | 项目编号****点击查看 | |
| 2025-01-21 22:17:32 | 公告截止日期2025-01-27 12:00:00 | |
| ****点击查看 | 付款方式供方提供货物至需方指定地点经安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付全部货款。 | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 按照合同约定执行 | |
| ￥ | ||
| ****点击查看八里台校区化学楼南楼207 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 匀胶机 | 1 | 台 |
| Laurell |
| WS-650Lz-23NPPB |
| ￥ |
| 1、系统概述 1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全； 1.2 防腐装置； ▲1.3设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护； 1.4 通信接口，蓝牙连接 2、处理腔体 2.1 处理腔体内径不小于220mm； 2.2 Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托； 2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质； 3、旋转马达 3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm， 3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec； 3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%； 3.4 双向旋转无刷马达驱动，耐腐蚀； 4、控制系统 4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ，精度不超过0.1s； ▲4.2配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006%； 4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态； ★4.4 转速精度≤1RPM，具有国际NIST标准认证，并且无需再校准； 5、配套泵浦 5.1 配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹； |
| 按国家法定或行业要求提供售后服务。 |
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