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| 微束定点精修系统 | |
| 项目所在采购意向： | |
| 采购单位： | ****点击查看 |
| 采购项目名称： | 微束定点精修系统 |
| 预算金额： | 320.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****点击查看0499其他分析仪器 |
| 采购需求概况 ： | 微束定点精修系统能够解决FIB制样对样品产生的损伤问题，如二次辐照，非晶层及镓离子注入，通过微束定点精修系统获得均匀厚度、无非晶层及无镓离子注入的样品，同时利用该系统配备的冷台，可以实现超薄样品的制备（ lt;20nm），满足高分辨、EELS、电子束辐照敏感材料分析的需求。配备微束定点精修系统主机一台，配套机械泵+分子泵两级真空系统 1套，成像二次电子探头1套，一体化控制电脑及软件1套，液氮冷台及控温系统1套，样品台及装样器1套，Load Lock快速进样系统1套。要求加工离子能量范围需包括：50eV ~ 2keV，离子束束斑尺寸：≤1μm，可精确定位制备样品，合同生效后12个月内。 |
| 预计采购时间： | 2025-07 |
| 备注： | 超长期国债项目三维动态显微镜研用一体化创新平台设备 |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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