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半导体特性分析系统 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | 半导体特性分析系统 |
预算金额: | 100.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****点击查看0402物理特性分析仪器及校准仪器 |
采购需求概况 : | 数量:1。 设备用途:提供半导体电学测试功能,用于实现半导体器件制备等电学表征,实现极高精度的电学测试,包括各种IV、CV等极限精度的测试,适用于半导体器件电学表征。。 主要性能指标:半导体测试系统包括测试机半导体分析仪和工作机四探针台组成一套。 半导体特性分析:测试精度pA级别,拥有SMU和CMU模块,分辨率高于100fA,测试主机一台,测试电压0-20V 四探针台:干扰误差低于100fA,四个探针卡座,配合真空泵实现常温和低温测试,配备显微镜和样品台,以及专用管线 |
预计采购时间: | 2025-02 |
备注: |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。