技术参数及配置要求 1、系统概述 1.1 智能嵌锁,系统盖板具有智能嵌锁装置,确保操作安全; 1.2 防腐装置; ▲1.3设有保护气体装置:旋涂过程中对旋转马达进行气流保护; 1.4 通信接口,蓝牙连接 2、处理腔体 2.1 处理腔体内径不小于220mm; 2.2 Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料,方片125x125mm,无需更换片托; 2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质; 3、旋转马达 3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm, 3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec; 3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%; 3.4 双向旋转无刷马达驱动,耐腐蚀; 4、控制系统 4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ,精度不超过0.1s; ▲4.2配有高精度PLC可编程的控制器,设置点精度小于0.006%; 4.3 可存储不少于20个程序段,每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态; ★4.4 转速精度≤1RPM,具有国际NIST标准认证,并且无需再校准; 5、配套泵浦 5.1 配套真空泵系统:无油型 220~240伏交流,50/60赫兹; |