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离子注入等工艺设备配套系统

离子注入等工艺设备配套系统

预告-招标预告 江苏 - 南京
发布于 2025-06-16

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东南大学
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离子注入等工艺设备配套系统
项目所在采购意向： ****点击查看2025年6至7月政府采购意向
采购单位： ****点击查看
采购项目名称： 离子注入等工艺设备配套系统
预算金额： 200.000000万元(人民币)
采购品目：
A020699其他电气设备
采购需求概况 ：
离子注入等工艺设备配套系统，1套 需完成离子注入、NLD干法刻蚀、电子束蒸发EBE设备的动力配电工程、工艺配电采购及安装、工艺排气采购及安装、工艺管道采购及安装、工艺气体及特气采购及安装等相关工艺设备配套工程采购；氯气系统安装等所有技术要求内包含内容。
预计采购时间： 2025-07
备注：

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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