等离子增强型化学气相沉积设备Harsh干泵和干刻机Harsh干泵招标公告

公告-招标公告福建 - 厦门 - 翔安区

发布于 2026-08-18

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厦门天马微电子有限公司

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等离子增强型化学气相沉积设备Harsh干泵和干刻机Harsh干泵招标公告

1.招标条件

本招标项目等离子增强型化学气相沉积设备Harsh干泵和干刻机Harsh干泵,招标人为****点击查看，招标项目资金已落实，该项目已具备招标条件，现对等离子增强型化学气相沉积设备Harsh干泵和干刻机Harsh干泵进行公开招标。

2.项目概况与招标范围

项目概况与招标范围：等离子增强型化学气相沉积设备Harsh干泵和干刻机Harsh干泵等离子增强型化学气相沉积设备Harsh干泵：14台，干刻机Harsh干泵：2台

招标编号：****点击查看

包名称：等离子增强型化学气相沉积设备Harsh干泵和干刻机Harsh干泵

数量：等离子增强型化学气相沉积设备Harsh干泵：14台，干刻机Harsh干泵：2台

简要技术要求：1）干泵主要为面板行业真空主设备的配套抽真空设备。 2）当一级泵/二级泵卡死的状态下，二者都需要有手动摇泵的功能 3）腔体表面使用水冷，使表面温度低于60℃

3.投标人资格要求

3.1 投标人资格要求：（1）制造商应具有制造同类设备的经验，有销售业绩。制造商在中国有代理或维修机构能对产品提供长期维修服务保障。投标方推荐的设备应成熟可靠，2021年1月至今必须有同类设备的销售记录，用户反映效果良好（投标人需在投标文件中提供合同或订单类业绩证明资料）。（2）一旦中标，投标人必须是与招标人签订本项目合同的签约方。如投标人不具备与招标人签订合同的能力，其投标将被否决。（说明：招标中必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。）

3.2 本次招标：不接受联合体投标。

3.3 未领购招标文件是否可以参加投标：不可以。

4. 招标文件的获取

4.1 获取时间：2026年08月18日00:00至2026年08月25日23:59

4.2 获取方式：中航招标网（www.****点击查看.com）

4.3 招标文件价格：3500.00元或600.00（美元），售后不退。

5. 投标文件的递交及开标

5.1 投标文件递交截止时间（开标时间）：2026年09月08日09:30

5.2 递交方式：电子文件递交到电子招标投标交易平台

5.3 开标方式：通过电子招标投标交易平台开标

5.4 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。逾期送达的投标文件，电子招标投标交易平台将予以拒收。

6. 联系方式