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发布时间：2025-09-11 17:00:02
| 手套箱蒸发镀膜系统 | 项目编号****点击查看 | |
| 2025-09-11 17:00:02 | 公告截止日期2025-09-15 12:00:01 | |
| ****点击查看 | 付款方式货到安装、调试、验收合格后，付全款。 | |
| 发布竞价结果后7天内签订合同 | 到货时间要求发布竞价结果后30天内送达 | |
| 币种 | 人民币 | |
| **省**市**区****点击查看 | ||
| 无 | ||
| 手套箱蒸发镀膜系统 | 1.00 | 无 |
| 不限 |
| 不限 |
| 技术指标 1.真空系统：采用“分子泵+机械泵”真空系统；气动阀门；复合真空计；分子泵抽速：1300L/S；机械泵抽速：9L/S；采用一个两低一高真空计； 2.真空极限：优于3.0×10-5Pa（手套箱环境）；漏率：优5×10－8Pa*L/S（国家标准）；关机12小时后，真空度≤5Pa； 3.抽速，抽气时间：大气压~5×10-4Pa小于20min（手套箱环境）； 4.基片台：抽屉式结构，承载不小于150×150mm 样品，配气动基片挡板。样品台可水冷，基片与蒸发源距离可调。 5.蒸发源及电源：配6组蒸发源（4金属2有机），高精度蒸发电源不低于 1套，蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪 PID（闭环控制），自动调节蒸发速率。 6. 控制方式 采用西门子PLC+西门子电脑实现一键式全自动控制系统；可输入工艺参数速率及终厚，PID调节自动控制蒸发电源输出等，可自动蒸发。 7.膜厚仪1套； 8.方形基片成膜不均匀性：优于±5%。基板温度≤80℃(100nmCu为例，蒸镀速率≥1埃/速率稳定性：金属材料≤±0.5%（速率区间 0.2-3.0A/S）。 9.该设备占地尺寸不大于1500*1300mm，占用手套箱宽度不大于800mm； 10、双工位手套箱 1 套，标准情况下箱体内水/氧含量（标况下为一个大气压，20 度恒温）：H2O﹤1ppm ，O2﹤1ppm ；泄露率＜0.001% vol/h。 |
| 交付、质保及售后 （一）交货期：30天 交付地点：买方指定地点 （二）安装调试与技术培训 供货商负责仪器设备的安装、调试及完成后的现场培训，须提供完整的设备操作、保养说明书、系统操作手册，安排专业人员完**装调试、技术支持，为买方单位提供设备的正常使用、维护保养、故障分析排除、操作安全及紧急处理程序等现场培训，确保买方相关人员达到熟练掌握设备安全操作和正确使用的技能，达到正确检修、维护和排除故障的水平。 （三）质保及售后 1.质保期1年。 2.提供系统发生故障后 2 小时内给予答复，紧急问题在48 小时内到达现场给予售后服务。 3.保修期结束后，实行终身维修服务，设备如有损坏，将收取更换的零配件成本费用。 4.技术服务工程师为用户提供技术支持。用户可以通过各种联络工具，****点击查看公司的各种咨询。 |
