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| 手套箱真空对接设备 | 项目编号****点击查看 | |
| 2025-08-27 17:43:09 | 公告截止日期2025-09-04 19:00:00 | |
| ****点击查看 | 付款方式签订合同后支付70%货款；设备到货安装验收合格后凭验收报告支付30%货款。 | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 签约后90个工作日 | |
| ￥430000.00 | ||
| **省**市**区清华国际一期A座412室 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 手套箱真空对接设备 | 1 | 台 |
| ￥ 430000.00 |
| 1. 一个真空腔体：柱状Loadlock腔体，材质为316或304不锈钢，配备符合超高真空要求的不同尺寸法兰口； 2. 一个直通法兰； 3. 一套分子泵，氮气抽速60 L/s； 4. 两套无油涡旋机械泵，10 m3/h抽速； 5. 一套全量程规，DN35CF，测量范围：5e-9 mbar ~ 1e3 mbar，包含控制线； 6. 一套磁耦合传样杆，行程≥550mm，磁耦合传样杆，包含TH100 抓取手； 7. 一套磁耦合传样杆，行程≥850mm，磁耦合传样杆，包含两工位停放台组件； 8. 一套SCIENCE PROBE DN63CF闸板阀； 9. 一套高温样品架包含： 1） 加热台，温度调节范围≥400 K-900 K（须包含此范围）； 2） 支撑杆； 3） CF35线性驱动，行程：≥150 mm，手动； 4） CF35旋转驱动，行程：≥360°，手动； 5） 温控电源1台，含热偶、加热器控制线； 10. 一套减震波纹管连接手套箱，DN63CF； 11. 一套微漏阀：VAT DN16CF； 12. 一个超高真空视窗法兰； 13. 一套快速进样门：CF63，手动，无差分口，DN63CF； 14. 一套高效微波等离子裂解源，用于刻蚀、PECVD、ALD、表面处理、产生自由基和反应粒子等（参考型号：SWPS-100）： 1） 适用气体：N2，H2，O2，稀有气体等； 2） 安装法兰：CF35； 3） 工作频率：425MHz ； 4） 最大功率：200 W； |
| 服务网点:不限;电话支持:7x8小时;服务时限:报修后48小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
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