分子束外延互联氧化物增材系统

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一、主要目标：为满足金属-氧化物异质结高质量的生长界面，定制用于分子束外延的互联氧化物增材系统。其不仅继承了传统技术的优点，如制备材料种类多、沉积速率快、易于控制化学计量比等，而且通过结合两种技术的核心优势，实现精确控制、原位监测、多功能性、超高真空环境、样品原位处理能力、以及对多种材料的适应性，从而制备出具有特殊物理和化学性质的新型材料，使其成为材料科学研究和器件制备的重要工具。在新生长体系的研究上，联动系统更具优势，通过真空****点击查看联通，材料避免外界气体污染，材料表面清洁利于开展深度研究，发现新奇物理现象。此外，原有设备无法进行原位表征，不能动态监视生长过程，不能用于原子级材料的设计和构筑。新搭建升级的分子束外延互联氧化物增材系统将不仅有效缓解设备不足的问题，而且具有原有设备不能提供的原子级制备能力，可以推动开展更多材料生长体系的研究，满足科研人员对新体系材料研究的迫切需求，提高研究的效率和质量。 二、主要功能：分子束外延互联氧****点击查看实验室原有的分子束外延系统，互联2英寸脉冲激光沉积，互联系统可以在超高真空环境下实现精确控制多功能、多组分、多材料薄膜生长沉积和样品原位处理，在高质量薄膜生长方面具有显著优势。其中用于互联的定制2英寸脉冲激光沉积系统包括预进样腔、超高真空生长腔、样品台、红外激光加热模块、靶台模块等。超高真空生长腔通过分子泵与机械泵协同工作，能够在腔体内营造超高真空环境；预进样腔用于取放样品，保证生长腔维持高真空度；样品台能够固定待生长的样品，并实现样品自转和多维运动；红外激光加热模块能够通过915nm高能红外激光对样品进行加热；靶台模块能够同时存放多块靶材，并实现不同靶材的切换功能。 三、采购数量：1套 四、服务要求：针对现有设备定制化设计，保修期1年，保修期过后，公司将以优惠的价格、优质的服务给买方的设备提供配品备件及终身保养维修服务，每年定期或不定期上门查看设备运行状况，不定时电话跟进设备运行状况，并进行免费保养维修服务，若在接到买方通知对设备进行维修保养时，公司将专程派遣技术人员到现场进行服务，视实际情况收取一定的费用。