高性能干法刻蚀设备-浙江大学-政府采购意向

采购意向浙江 - 杭州 - 余杭区

发布于 2025-04-28

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浙江大学

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高性能干法刻蚀设备
项目所在采购意向：
采购单位：	****点击查看
采购项目名称：	高性能干法刻蚀设备
预算金额：	300.000000万元(人民币)
采购品目：	A****点击查看0204半导体器件参数测量仪
采购需求概况：	采购名称：高性能干法刻蚀设备、数量：1台、需实现的功能：1.样品尺寸：兼容6英寸及以下尺寸的晶圆和碎片； 2.反应腔本底真空度≤1E-6mbar，漏率2E-4mbar●l/s； 3.预真空室：配置独立干泵，本底真空≤0.1mbar，漏率≤5E-4mbar●l/s； 4.控温范围-30°C…+250℃，控温精度±1℃； 5.射频源：频率13.56MHz，功率600W，反射功率<5%。预期年度使用时长、次数:250次共1200h
预计采购时间：	****点击查看
备注：	无