磁控溅射镀膜机-浙江大学-政府采购意向

采购意向浙江 - 杭州 - 余杭区

发布于 2025-04-28

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浙江大学

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磁控溅射镀膜机
项目所在采购意向：
采购单位：	****点击查看
采购项目名称：	磁控溅射镀膜机
预算金额：	150.000000万元(人民币)
采购品目：	A****点击查看0204半导体器件参数测量仪
采购需求概况：	采购名称：磁控溅射镀膜机、数量：1台、需实现的功能：1）配置有4个磁控溅射靶位和3路气体，分别为Ar、N2和O2； 2）配置有2个1KW射频电源和1个2KW直流电源； 3）配置分子泵和干泵组合，工艺腔室极限真空可达5E-5Pa； 4）工艺腔室最高温度可达300℃，均匀性低于+/-10℃； 5）片内、片间和批次间膜厚均匀性优于5%；预期年度使用时长、次数:250次共1200h
预计采购时间：	****点击查看
备注：	无