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| 1 | 面向智能制造的测量、驱动和控制一体化平台 | 标的名称：一、滨松 X15213-03BR 液晶-硅基空间光调制器（进口一套），3D超景深显微镜（进口一套），三丰平场复消色差近红外无穷远校正物镜（进口一台），德国NintelliSCAN III 10 激光振镜（进口一套），平面电机运动平台AEROTECH-Planar-300XY（进口一套），六自由度位移台PI-H-824.G2（进口一套），信号发生器是德科技keysight33522B（进口一套），直流电源 是德科技keysightE36313A（进口一套），高功率DPSS固态窄线宽激光器（一套），IsCMOS增强型高分辨率相机SIC-18U-UV-4M-F（一套），直驱电动台及控制器（一套），气浮隔振光学平台（三套），高精度电容电感测试仪TH2838（一套），****点击查看工作站戴尔PrecisionT7920（一台），等离子清洗机 CSCPIA5（一套），多功能印刷设备DB100（一套），科研级纳米位移电容传感器测头NS-DCS20L（一套），微电子打印机Scientific3（一套），**石平台（一套）。；标的数量：21台/套；标的目标：1.滨松 X15213-03BR 液晶-硅基空间光调制器，通过液晶 (LC) 直接由电压进行准确控制。LCOS-SLM 可从反射率、孔径比和像素结构引起的衍射噪声角度实现高光利用效率，实现高精度光波前调制与光信号处理。 2.3D超景深显微镜基恩士VHX-X1F系列，支持超高分辨率 4K CMOS 与 4K 镜头，可实现 5倍到 6000 倍的无缝缩放； 3.三丰平场复消色差近红外无穷远校正物镜Mitutoyo M Plan ApO NIR HR 50x 378-863-5，波长范围：480-1800nm，分辨力:0.42μm，放大率:50X，数字孔径NA:0.65； 4.德国NintelliSCAN III 10 激光振镜，孔径：10mm，跟踪误差：0.11ms，标记速度：3.5m/s，定位速度：12m/s，典型光斑尺寸：32μm； 5.平面电机运动平台AEROTECH-Planar-300XY:一体平面式结构，行程≥300x300毫米，精度＜±0.8微米，重复性≤±0.15微米，分辨率≤3纳米； 6.六自由度位移平台PI-H-824.G2:X、Y向上的行程±22.5毫米,Z向上的行程±12.5毫米, θX、θY向上的行程±7.5度, θZ向上的行程 ±12.5度, X、Y和Z向上的最小位移0.3微米,θX、θY、θZ向上的最小位移3.5微弧度； 7.信号发生器是德科技keysight33522B， 250MSa/s 采样率、16 位分辨率、1mVpp - 10Vpp 幅度，可实现纳米时栅传感器信号的精准激励； 8.直流电源是德科技keysightE36313A，160W输出功率，支持串联模式至 50V、并联模式至 4A，实现纳米时栅传感器测试的精确电源供应； 9.高功率DPSS固态窄线宽激光器华日激光LumiFemto-P40-0050，支持 7/24 小时运行。该激光器在 1035 nm 波长下提供超过 40 W 功率和超过 50 μJ 单脉冲能量，脉宽小于 240 fs； 10.IsCMOS增强型高分辨率相机SIC-18U-UV-4M-F 1:1光纤面板耦合CMOS相机、增益控制、纳秒级控以及同步时序控制器组成，配备专业数据采集控制软件，可实现ns级光谱响应测试及成像； 11.芯明天直驱电动台及控制器N31.100E-D（定制）直线压电马达内部采用ptz压电式驱动，实现三自由度紧密定位，每个自由度行程50 mm，分辨率5 nm； 12. 卓立汉光气浮隔振光学平台（3台套，TPR18-15：1800 mm ×1500 mm ×800mm，TPR20-12：2000 mm ×1200 mm ×800mm，TPR20-15：2000 mm ×1500 mm ×800mm），固有频率：垂直方向＜1.5~2.5Hz；水平方向＜1~1.5Hz。 13.高精度电容电感测试仪TH2838，测试频率: 20Hz-2MHz，分辨率:最高0.1mHz，基本精度: 0.05%，测试速度:最快5.6ms/次，具备高功率信号源（20V/100mA）。 14.****点击查看工作站戴尔PrecisionT7920，搭载Intel 至强 金牌十六核CPU，支持 DDR4 ECC 内存，配备 2 个 PCIe 3.0 x16 插槽。 15.等离子清洗机 CSCPIA5，功率 0 - 300W 连续可调，频率 40KHZ，清洗时间 1 - 60000 秒可调，真空泵抽速 4L/S ，内腔尺寸 Φ150MM×270MM，可实现纳米时栅栅式结构加工表面的洁净清洗。 16.多功能印刷设备DB100，设备集成平面直写、气动挤出3D打印、狭缝涂布等多种功能性印刷方式，可在多种柔性和刚性基底表面实现点、线、面等2D图案或3D立体结构的制备或组合制备。 17.科研级纳米位移电容传感器测头NS-DCS20L，量程范围100μm，分辨率RMS<0.2nmHz，线性度为0.08%，带宽为10KHz。 18.微电子打印机Scientific3，重复定位精度：±20μm，电源输入：220VAC，3A50/60Hz，气路系统：气压输入300-400Kpa，气压输出-5-300 Kpa。 19.**石平台：尺寸 1550*1100*200mm，1100*470*430mm，000级；标的要求：1.中标人和制造商在质量保证期内应当为采购人提供的技术支持和服务。采购人遇到使用及技术问题，电话咨询不能解决的，中标人和制造商应在24小时内到达现场（远**48小时内到达现场）进行处理，确保产品正常工作；无法在2小时内解决的，应在24小时内提供备用产品，使采购人能够正常使用。质保期内该软件免费升级，中标人应向采购人免费开放该软件所有接口。在质保期内，如果中标人和制造商的产品技术升级，中标人应及时通知采购人，如采购人有相应要求，中标人和制造商应对采购人购买的产品进行升级服务。质量保证期过后，中标人和制造商应同样提供免费电话咨询服务，并应承诺提供产品上门维护服务。采购人需要继续由原中标人和制造商提供售后服务的，该中标人和制造商应以优惠价格提供售后服务。 | 372.60 | ****点击查看 |
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