直流偏压增强微波等离子化学气相沉积系统设备-西安电子科技大学采购与招标管理办公室-政府采购意向

直流偏压增强微波等离子化学气相沉积系统设备-西安电子科技大学采购与招标管理办公室-政府采购意向

发布于 2025-09-18

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西安电子科技大学采购与招标管理办公室
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****点击查看大学2025年10月政府采购意向公开

为便****点击查看政府采购信息, 根据《****点击查看政府采购意向公开工作的通知》 (财库〔2020〕10号)等有关规定,****点击查看大学2025年10月政府采购意向公开如下:

序号 采购项目名称 意向编号 采购品目 采购需求概况 预算金额(万元) 预计采购日期 备注
1 直流偏压增强微波等离子化学气相沉积系统设备 ****点击查看 A****点击查看2099 其他电气机械设备 直流偏压增强微波等离子化学气相沉积系统设备,采购数量1台,要求设备18个月内保修,售后团队处于国内,售后服务长期有效,厂家通常提供专属技术顾问电话/微信支持,4小时内线上对接,48小时内可至现场解决问题,维护方便,价格合理。 具体参数为:*1.微波电源: 功率≥90kW; 2.微波泄漏率≤5mw/cm2; 3.水冷式沉积台,面积≥12英寸; 4.单晶有效生长面积≥6英寸; *5.微波换向器内天线表面全镀金; *6.≥75KW功率下连续生长时间≥200h; 7.冷却水:≥200L/min流量可调, 压差≥0.4MPa; 8.90KW功率下, 水温16~20℃(不凝露); 9.极限真空≤10Pa(油泵), ≤1e-4 Pa(分子泵); *10.氦检漏率≤1e-10Lm/sec; 11.分子泵排气速度≥1000L/m; 12.工作压力30~240Torr; 13.MFC≥6路,H2:10sLm,CH4:1sLm,CO2:500sccm,O2:500sccm,N2:500sccm,Ar:10sLm; *14.直流偏压100-400V可调; 15.温度范围700℃-1400℃; *16.交货期四个月 340 ****点击查看

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

****点击查看

2025年09月18日

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