电子束镀膜机-南京理工大学招标办公室-政府采购意向

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发布于 2025-01-06

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南京理工大学招标办公室
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****点击查看大学2025年政府采购意向公开(第4批)
发布日期: 2025-01-06

为便****点击查看政府采购信息, 根据《****点击查看政府采购意向公开工作的通知》 (财库〔2020〕10号)等有关规定,****点击查看大学2025年政府采购意向公开(第4批)政府采购意向公开如下:

序号 采购项目名称 意向编号 采购品目 采购需求概况 预算金额(万元) 预计采购日期 备注
1 电子束镀膜机 ****点击查看 电子工业生产设备 电子束镀膜机1台,主要用于金属/介质薄膜蒸镀和lift-off工艺薄膜蒸镀,满足以下指标 (1)腔体极限真空优于3×10-7Torr; (2)蒸发速率0.01nm/s-2nm/s之间可调。 (3)配备石英晶振膜厚监测系统; (4)配备全量程真空计 × 1,测压范围:1 atm ~ 10-9 Torr; (5)冷泵前级真空计 × 1,测压范围:1 atm ~ 10-4 Torr (6)知名品牌≥6 kW电子束蒸发电源,不少于4个坩埚,可软件控制自动旋转更换坩埚,每个坩埚容量不小于15cc; (7)不小于4英寸样品台,可最高20rpm旋转,基板带水冷功能; (8)4英寸样片表面镀膜均匀性优于±3%。 货期:签订合同后6个月内。质保期:1年及以上。 150 ****点击查看

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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2025年01月06日

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