磁控溅射设备-中国科学院化学研究所-政府采购意向

磁控溅射设备-中国科学院化学研究所-政府采购意向

发布于 2025-03-14

招标详情

中国科学院化学研究所
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可引荐人脉可引荐人脉628人

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磁控溅射设备
项目所在采购意向: ****点击查看2025年3至12月政府采购意向
采购单位: ****点击查看
采购项目名称: 磁控溅射设备
预算金额: 200.000000万元(人民币)
采购品目:
A****点击查看0699其他试验仪器及装置
采购需求概况 :
主要包括控制单元、分子泵、机械泵、真空蒸镀腔体等单元,真空度能够达到10-6Pa以下,磁控阴极能够10 W持续放电,投入最大电力10 W/cm2。具有低速率溅射控制模式,能够性能均匀薄膜。基板加热温度达300℃。
预计采购时间: ****点击查看
备注:

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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