硬X射线自由电子激光装置-分子泵-上海科技大学-政府采购意向

数量：一批技术参数： 分子泵： 普通不抗辐射：名义抽速（N2）≥65 L/s至2300 L/s，极限压强≤5E-10 Torr，需采用半磁浮技术，具有较长使用寿命； 磁悬浮：采用磁悬浮轴承，名义抽速（N2）≥255 L/s至2150 L/s，极限压强≤5E-9 Torr。其中有效抽速为2150 L/s的分子泵采用Profibus通讯，其余采用RS485通讯，要求均可倒置安装； 抗辐射：采用外部电子驱动单元，名义抽速（N2）≥260 L/s，进气口法兰CF100，极限压强≤5E-10 Torr，最大排气压力≥10Torr，可倒置安装。以上类型均需要RS485通讯，且需采用防辐射电线。 目标：分子泵与光束线真空腔体直接连接，为光束线设备提供超高真空工作环境。 供货周期为合同签订后4个月内，质保1年。