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低温等离子体介质沉积系统-复旦大学-政府采购意向

低温等离子体介质沉积系统-复旦大学-政府采购意向

采购意向上海 - 上海 - 杨浦区

发布于 2024-09-23

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复旦大学

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****点击查看2024年10月政府采购意向-低温等离子体介质沉积系统详细情况

低温等离子体介质沉积系统
项目所在采购意向：
采购单位：	****点击查看
采购项目名称：	低温等离子体介质沉积系统
预算金额：	480.000000万元(人民币)
采购品目：	A****点击查看0300 电子工业生产设备
采购需求概况：	生长速度≥8 nm/min，生长温度≤100℃，生长薄膜应力≤300 Mpa，薄膜均匀度（薄膜差异±5%），标配8路：SiH4、NH3、N2O、N2、O2、CF4、Ar、He流量可调，真空计（100mTorr），分子泵抽速≥1300L/s，抽真空 30 分钟以内，压力达到 lt; 1E-5 mbar，本底真空： lt; 1E-6 mbar。
预计采购时间：	****点击查看
备注：

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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