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历史招中标信息91433条
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| 微纳平台12寸CMP工艺配套系统采购 | |
| 项目所在采购意向： | |
| 采购单位： | ****点击查看 |
| 采购项目名称： | 微纳平台12寸CMP工艺配套系统采购 |
| 预算金额： | 250.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A020699其他电气设备 |
| 采购需求概况 ： | 12寸CMP工艺配套系统，1套。主要技术要求如下：完成CMP房间改造（包括墙、顶、地、门的改造，空调系统，动力配电系统，弱电系统，酸碱及一般排风，纯水系统，照明系统等工程）；12寸CMP设备的工艺配套系统（包括工艺配电，纯水管路，排液系统，PCW，排风系统，真空系统和气体系统等的采购与安装工程）；8寸CMP设备的工艺配套系统（包括工艺配电，纯水管路，排液系统，PCW，排风系统，真空系统和气体系统等的采购与安装工程）等相关工艺设备及附属设备的配套系统安装工程等所有技术要求内包含内容。 |
| 预计采购时间： | ****点击查看 |
| 备注： | |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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