薄膜粉体磁控溅射设备-浙江大学-政府采购意向

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拟采购一套薄膜粉体磁控溅射设备 1)最大适用于6寸晶圆且向下兼容小尺寸；2)配备预进样室，具备一键送样，可以一次传送1片6寸晶圆，且兼容高度不低于5cm样品；配独立分子泵，抽速不低于47L/S；3)溅射方式采用向下溅射,腔体尺寸不小于18”x18”x14”（WxDxH）；4)低温泵抽速不低于1500l/s,干泵抽速不低于1000l/min5)设备为集装式，带六只脚轮，可固定可移动；6)不少于3路MFC，配所有所需得真空测量系统；7)工件台为直径6英寸射频偏压工件台，与靶枪共用一套电源，转速0-20rpm可调；8)工件盘最高加热温度800度，非灯丝加热，温度均匀性±1%；9)样品台和靶枪具体可调，调整范围不小于10cm;10)配备3个3英寸圆形共焦溅射靶枪，靶枪角度0-35°可调；11)配备一套直流电源，功率不低于1200w,可以切换至2个靶枪；采购设备需满足相应设备技术参数中的各项指标，产品质量达到设计要求，安装调试各项指标符合招标技术参数，其售后服务应满足：（1）不论质保期内外，卖方应当提供7*24小时电话支持服务；（2）质保期内因产品质量出现问题，买方有权要求卖方予以无条件维修、更换或退货；（3）质保期内所有的配件和人工费用由厂家承担；（4）厂商应及时免费提供合同货物软件的升级，免费提供合同货物新功能和应用的资料；（5）质保期届满后，卖方仍对本合同项下货物提供有偿服务，且****点击查看维修部件的市场成本价费用，服务内容应与质保期内的要求相一致。